Weisslichtinterferenz-Mikroskopie
TOPOGRAPHISCHE MESSUNGEN (WYKO)
Berührungslose Vermessung der Oberflächenbeschaffenheit in verschiedenen Vergrösserungsbereichen.
Die Weißlichtinterferometrie (WLI) ist eine berührungslose optische Messmethode der Oberflächenbeschaffenheit. Sie nutzt die Interferenz breitbandigen Lichts (Weißlicht) aus um 3D-Profilmessungen von Strukturen zwischen einigen Zentimetern und einigen Mikrometern zu erstellen.
Gerätetyp und Ausrüstung | Wyko NT8000 |
Funktionsprinzip | Oberflächenmessungen an glatten und rauhen Oberflächen mit dem Interferometer in verschiedenen Vergrösserungsbereichen |
Typische Anwendungen | Betrachtung und Vermessung der Tiefe von Oberflächendefekten oder Stufen, Nuten etc. sowie die Bestimmung von Rauheitskennwerten der Oberfläche. |
Anforderungen an die Probe | Reflektierende Oberfläche (transparente Oberflächen müssen vorab bedampft werden) |
Topographische Messung für die technische Sicherheit
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